深圳・穏頂聚芯（Wonder Sight）、同社初の高精度ステッパー露光装置出荷を発表

9月23日‐深圳稔頂聚芯技術有限公司（Wonder Sight）はこのほど、自社開発による初の中国国産高精度ステッパー（ステップ・アンド・リピート方式の露光装置）が順調に出荷されたと発表した。

同社の公式動画アカウントが公開した製品情報によると、このステッパーは「WS180iシリーズ」に属し、mini/micro LED光電デバイス、光チップ、パワーデバイスなどの化合物半導体分野を主な応用対象としている。シリコンウェハー、サファイア、SiCなど、さまざまな基板とフォトレジスト膜厚に対応した露光プロセス要件を満たすことが可能だ。具体的な仕様としては、2インチから8インチまでのウェハーサイズに対応し、解像度は1.5μmから0.35μmをカバーする。

ステッパーに加えて、Wonder Sight社は、オーバーレイ精度及び Critical Dimension（CD）測定装置（測定精度10nm）、超精密光学イメージ品質評価システム、高性能能動型防振システム、ウェハーアライナー、ウェハーハンドラー、膜厚測定システム（測定範囲10nm-100μm）などの関連設備も開発・保有している。

企業登記情報によれば、Wonder Sight社は2023年5月に深圳南山区に設立され、登録資本は約119.2万元（約2,384万円）。経営範囲は、計測器・分析機器の製造、電力電子部品の製造、超伝導材料の製造、機械電気設備の製造・販売、電子部品・機械部品の販売、および各種技術サービス・開発・コンサルティングなど多岐にわたる。

求人情報プラットフォームの資料によると、同社は半導体コア装置の研究開発、製造、販売を手がけるハイテク企業だ。製品は半導体プロセス装置の開発・製造に焦点を当てており、パワーデバイス、オプトエレクトロニクスデバイス、MEMS、マイクロ波RFなどの半導体及び汎半導体製造分野で広く応用されている。深圳には2000平方メートル超の研究開発・生産工場を有し、ドライクラス組立・調整用クリーンルーム、クラス100及びクラス10の実験室用クリーンルームを含む。

中核となる研究開発チームの85％以上が中国国内外の有名大学の大学院卒業資格を有し、メンバーは中国半導体業界のトップクラス研究機関やグローバル企業500社から集まっており、豊富な業界経験、卓越した自主開発能力、革新的な高級装置製造技術、独自の企業運営管理理念を有し、グローバルな自動化・智能化高級装置開発の新たな潮流をリードしているとされる。

Wonder Sight社は、自社の中核チームが開発した集積回路プロセス設備は、有名な集積回路メーカーの認証を取得し、顧客から高く評価されているとしている。

特筆すべきは、2025年2月20日に開催された「科創宝安・創投荟」イベントにおいて、同社がこの露光装置の開発成果を既に発表し、成熟プロセス技術向けの前工程露光プロセス製造に焦点を当てた製品であること、2000平方メートル超の開発・生産工場と高スキルの研究開発チームを有することを明らかにするとともに、1億元（約20億円）の資金調達ニーズを発表していた点だ。

現在、Wonder Sight社は年間20台の露光装置の生産能力を有しており、2025年の営業収入は1億4000万元（約28億円）、純利益は4480万元（約8億9,600万円）を見込んでいるという。

（原文：https://www.icsmart.cn/96637/）

（為替換算レート：1人民元=20円、1米ドル=143円で計算）