2025-08-15
半導体半導体このほど、杭州城西科学技術イノベーション回廊に位置する浙江大学（浙大）の技術成果転化拠点から朗報が届いた。同拠点が最初に契約・インキュベートしたプロジェクトの一つである、中国国産初の商用電子ビーム露光装置「羲之（ぎし）」が応用テスト段階に入り、その精度は国際的な主流装置に肩を並べる水準に達している。
テスト現場では、浙大余杭量子研究院の研究チームが忙しく動き回り、大型の鋼製キャビネットに似た装置が応用テストを受けていた。電子ディスプレイにはリアルタイムのパラメータが絶えず点滅している。「これは普通の装置ではない。髪の毛一本の上に都市全体の地図を彫刻できる『ナノの神筆』だ」。チーム責任者は記者団にこう語った。省の重点実験室を基盤に、この研究院が独自に開発した次世代100kV電子ビーム露光装置「羲之」が正式に市場投入されたのだと説明した。
「羲之」の名称は書道家の王羲之（おうぎし）に由来する。「ただし、我々の『筆』は電子ビームであり、チップ上に回路を刻み込む」。開発チームの関係責任者はこう説明した。この装置は量子チップや新型半導体開発の中核工程に特化しており、高エネルギー電子ビームを用いてシリコン基板上に回路を「手書き」する。精度は0.6ナノメートル（nm）、線幅は8nmに達し、マスクが不要で設計を柔軟に変更できる。ナノレベルの筆でチップ上に精密に絵を描くようなもので、特にチップ開発初期段階での繰り返しデバッグに適しているという。
これまで、この種類の装置は国際的な輸出規制の対象となっており、中国科学技術大学（USTC）や之江実験室（Zhijiang Lab）など中国国内トップクラスの研究機関は長年、購入が不可能だった。「羲之」の登場はこの行き詰まりを打開する可能性がある。記者が把握したところでは、その価格は国際的な平均価格を下回っており、すでに複数の企業や研究機関との商談が進んでいる。
（原文：https://www.icsmart.cn/95294/）