中国半導体製造の自律化を推進：モーションコントロール専門企業「新時達（STEP）」の高精度半導体ロボットが技術的ブレークスルーを達成

世界的な技術競争の再構築が加速する中、半導体サプライチェーンの自律的な制御能力は、もはや産業発展の基盤にとどまらず、国家の技術安全保障と競争力の核心を担う戦略的要素となっている。過去を振り返れば、中国の半導体製造分野は長年にわたり「受動的」な状況に陥っていた——ウェハ搬送や真空伝送などの重要工程では、輸入装置への依存がほとんどだった。海外メーカーは数十年にわたる技術蓄積とエコシステムの独占優位を背景に、世界市場の90%以上を占め、突破が困難な技術的・市場的障壁を築き上げ、中国が半導体産業の高付加価値化を目指す上での「見えない枷」となっていた。

こうした産業の課題に対し、中国政府はここ数年、重要装置と核心部品の国産化を後押しする政策を相次いで打ち出し、強力な追い風を吹き込んでいる。その中でも、製造プロセスを連結し精度を担保する核心装置である半導体工場で活躍するロボットの国産化は、「選択肢」から「必須」へと転換を遂げた。

この背景の下で、モーションコントロールの専門企業STEP社（新時達）傘下のADTECH社（衆為興）は、自社開発の半導体ロボットシリーズを正式に発表し、業界初のClass 1レベルクリーンルームを建設。設計から検証、量産までの全工程を国産化した閉鎖的なサプライチェーンを実現した。これは、STEP社が高付加価値製造分野でまたもや重要な突破口を開いたことを示す。

自律的な駆動制御がコア競争力を構築

半導体製造は洗浄度への要求が極めて厳しく、微小な粒子でもチップの廃棄を招く。この厳格な業界標準に対し、STEP社はシステム思考で製品設計を再構築。構造の最適化、材料の選定から運動制御システムのアーキテクチャまで、洗浄と真空環境に向けた抜本的な革新を進めた。

現在、ADTECH社の半導体ロボットはISO Class 2レベルの洗浄基準を達成し、ドイツTÜVのSEMI認証や上海国家ロボット検測判定センターの洗浄等級認証を取得。核心性能指標は国際的な先進水準に達している。

半導体洗浄の品質を源流で保証するため、STEP社は上海に業界初のClass 1レベルクリーンルーム生産ラインを新設。ADTECH社半導体ロボットの組み立て、性能テスト、信頼性検証に特化している。クリーンルーム内の温湿度、粒子濃度、静電制御はすべてウェハ工場級の標準に準拠し、製品組み立てから装置調整、出荷検査までの全工程で洗浄化管理を実現。ADTECH社の洗浄組み立てと高精度検証における専門性とエンジニアリング能力を全面的に示した。

同時に、STEP社は20年以上にわたり運動制御技術を深耕し、「駆動制御一体化」を核心に、SDC420/SDC620シリーズの低圧直駆動・駆動制御一体型コントローラーの自主開発に成功。この製品は運動制御とサーボ駆動の高度な融合を実現し、従来の「コントローラー＋ドライバー」分離方式に比べ、同期性と信頼性が向上。±0.05mmの高精度位置決めを実現し、ウェハレベルの搬送という厳しい要求に応える。

真空環境への適応では、非接触トルク伝達技術と低発塵・耐真空材料体系を採用し、外資が長期にわたり独占してきた真空駆動の核心障壁を突破。真空チャンバ内での高精度搬送から大気環境下での高速受け渡しまで、その安定性と洗浄性能は国際的な一流レベルに達している。

「洗浄、高精度、制御性」が、ADTECH社半導体ロボット製品の核心キーワードだ。これは単なる性能追求ではなく、中国のスマート製造装置企業が高付加価値自動化分野で示す技術力と民族的な自信を象徴する。

ウェハ製造からパッケージテスト搬送まで：包括的な応用マップを構築

STEP社の半導体ロボット製品は、大気環境から真空環境までの全シナリオをカバー。製品マトリックスは8大シリーズ、数十機種に及び、ウェハ製造、パッケージテスト、一般搬送などの全工程を網羅する。

△TBAシリーズ 5軸大気円筒座標デュアルアームウェーハ搬送ロボット

前工程のウェハ製造工程では、製品は主に酸化、エッチング、成膜、洗浄などのプロセスにおけるウェハ搬送およびウェハのロード/アンロード工程に適用される。パッケージングとテスト工程では、ロボットが基板搬送と自動ロード/アンロードを担う。同時に、汎用物流分野では、クリーン環境向けの搬送・保管ロボットソリューションを提供している。

△AHYシリーズ 4軸真空ダイレクトドライブデュアルアームQ型ウェーハ搬送ロボット

これらの製品はすべてモジュール化プラットフォームに基づき設計され、顧客の多様な要求に応じてロボットアーム構造、制御システム、通信インターフェースを柔軟に設定可能。SEMI国際標準に完全準拠し、既存生産装置への迅速な統合を支援する。

顧客の信頼：検証から量産応用へ

洗浄性能と制御技術での突破により、ADTECH社の半導体ロボットは複数のウェハ工場と装置メーカーで導入が進んでいる。

SMICや杭州富芯の生産ラインでは、製品が量産段階に移行。BYD、芯源微、晶盛機電などの顧客では、パッケージテストと装置製造工程で国産化代替ソリューションの重要選択肢となった。同時に、STEP社は季華实验室、吉姆西などの研究機関と連携し、高洗浄度・高精度搬送の検証実験を行う共同テストプラットフォームを設立。

これらの成功事例は、中国国産技術と製品の実現可能性が市場で検証されただけでなく、中国国産半導体装置のエコシステムが成熟へ向け加速していることを示す。

（原文：https://www.icsmart.cn/97544/）