10月21日、中国国産半導体装置メーカーの稷以科技（Jet Plasma）は、自社開発の12インチIC前工程用表面酸化/窒化装置JETKeplerが業界トップクラスの顧客へ正式に納入されたと発表した。

稷以科技は、今回の納入は重大な意義を持っていると説明した。これにより、同社は300mmIC分野で重要な拡大を図っただけでなく、業界顧客に大型表面酸化/窒化装置ソリューションを成功に提供した。

情報によれば、12インチIC前工程向け表面酸化/窒化装置JETKeplerは主にウェハーエッチング及び高温プラズマ表面酸化・窒化に適用され、等方性表面処理（酸化/窒化/還元/薄膜密度向上/エッチング後の残留物除去など）を実現する。JETKeplerは高密度・低損傷プラズマシステム、優れた温度均一性、高い生産能力、低い運用コストを特徴としている。

稷以科技（Jet Plasma）は、今回の納入を新たな出発点とし、技術開発の深化、製品性能の継続的最適化、技術革新とサプライチェーン構築の強化に注力し、先端技術のボトルネック克服に取り組み、中国半導体産業の発展に中核的な支援を提供していくと表明した。

（原文：https://www.icsmart.cn/97789/）