2025年11月25日、上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES Technology Co., Ltd.　以下「AMIES社」と略称）はこのほど、自社開発初となる350nm露光装置ステッパー「AST6200」が工場での最終調整と検収を正式に完了し、顧客先へ出荷されたことを発表した。

同社は、中国が半導体露光装置の高付加価値分野において、再び重要なブレークスルーを達成したことを示すものであり、単なる製品の納入を超え、中国国産半導体装置が高品位化と自律化に向けて前進する重要なマイルストーンだと表明した。

△350nmステッパー「AST6200」出荷式典での記念写真

5G通信、新エネルギー自動車、光通信、LiDAR、Micro LED新型ディスプレイなどの新興産業が急速に発展する中、化合物半導体は次世代情報技術を支えるコア技術として注目を集めている。炭化ケイ素（SiC）に代表される化合物半導体材料は、高周波、高電力、高耐熱、高効率という特性により、パワーデバイス、高周波フロントエンド、光電子チップなどの分野で置き換えられにくいという優位性を発揮している。

市場調査機関の予測によれば、化合物半導体デバイスの世界市場規模は2030年までに250億米ドル（約3兆9000億円）に達し、その成長率は半導体市場全体のほぼ2倍に上ると見られている。しかし、高性能チップの製造には、高精度で高安定性の露光プロセスが不可欠だ。長年にわたり、高精度の露光装置は海外メーカーが独占しており、中国のサプライチェーン自律化の大きな足かせとなっていた。

AMIES社は、こうした状況を受け「AST6200」露光装置を開発・投入し、中国国産化合物半導体の製造に強力なコア設備での支援を提供するとしている。

「AST6200」は、AMIES社が長年培ってきた光学系設計、精密運動制御、半導体プロセス技術の知見を結集し、開発した高性能・高信頼性かつ完全自律開発のステップ式露光装置だ。パワー、高周波、光電子、Micro LEDなどの先進的な製造シナリオに特化して設計されている。

△AMIES社初の350nmステッパー「AST6200」

AMIES社は、「AST6200」の主な特長として以下4点を挙げている。

1. 高解像度イメージング

大口径投影レンズを搭載し、多様な照明モードと可変瞳技術を組み合わせることで、350nmの高解像度を実現。現在主流の化合物半導体チップが求める露光プロセス要件を満たす。

2. 高精度オーバーレイ

高精度アライメントシステムを採用し、表面オーバーレイ精度80nm、裏面同定精度500nmを達成。多層パターンの正確な位置合わせを実現し、デバイスの歩留まり向上に貢献する。

①高照度I線光源（365nm）を採用

②高速リニアモータ基板搬送システムにより、2/3/4/6/8インチ等多种規格の基板を迅速に切り替え対応

③高速高精度ステージシステムは最大加速度1.5gを実現し、スループットを大幅に向上

3. 優れたプロセス適応性（多様な基材・形状に対応）

①Si（シリコン）、SiC（炭化ケイ素）、InP（リン化インジウム）、GaAs（ヒ化ガリウム）、サファイアなどの素材の基板をサポート

②フラット、ダブルフラット、Notchなどの基板形状に対応

③革新的な焦点・レベル調整システムは、多スポット・大角度入射設計を採用し、透明、半透明、不透明、さらには大きな段差を持つ基板も正確に計測可能

④背面アライメントモジュールをサポートし、ボンディングウェハなど複雑なプロセスにおける背面アライメント要求にも対応

4. ソフトウェアの100%自律開発

フルスタック国産エコシステムを構築。「AST6200」は、AMIES社が自社開発したフルスタックのソフトウェア制御システムを搭載。低レベルドライバから上位のプロセス管理まで、完全な自律開発を実現した。システムは強力なプロセス拡張性と遠隔メンテナンス能力を備え、デバイスのライフサイクルを通じて持続的に価値を提供し、顧客のスマート生産ラインアップグレードを支援。

AMIES社は、世界中の顧客に高性能・高信頼性の中国国産代替コア露光ソリューションを提供することに注力している。同社は、光学、機械、制御、ソフトウェア、半導体プロセスの専門家から成るトップクラスの研究開発チームを有し、多数のコア特許技術を持っている。投影レンズ、精密ステージ、露光システムなどの分野で重要な技術的な自立突破を果たしている。

（原文：https://www.icsmart.cn/99022/）

（為替換算レート：1米ドル=156円で計算）