
TSMCの1.4nmプロセス、「A14」と命名 2027~2028年に量産へ
2023-12-15半導体業界動向半導体

12月14日‐ファウンドリー(半導体の受託製造)世界最大手の台湾積体電路製造(TSMC)は、IEEE国際電子デバイス会議(IEDM)のパネルセミナーで、2nmプロセス技術の量産を2025年に予定しており、さらに先進の1.4nmプロセス技術の研究開発も進めていることを明らかにした。
海外メディアの報道によれば、TSMCの1.4nmプロセス技術の正式名称は「A14」と呼ばれているが、量産の時期や詳細なパラメータについては明らかにされていない。2nmは2025年末の量産が確定しており、次いでN2Pは2026年末の量産となることから、A14プロセスは2027~2028年の量産になると予想される。
技術的な面では、A14プロセスはTSMCの第2世代または第3世代のゲートオールアラウンドフィールドエフェクトトランジスタ(GAA-FET)を採用する予定であり、バックサイドパワー供給技術も導入される予定だ。また、最新のHigh-NAEUV露光装置を使用して製造が行われる予定だという。High-NAEUV露光は、マスクサイズを半分にするため、チップデザイナーや製造業者に新たな要求と課題をもたらすことが予想されている。
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