中国の地域ニュース『無錫日報』によると、8月15日、中国国産初となる28nmクリティカルディメンション（CD）電子ビーム計測装置が中国・江蘇省無錫市で正式に納入された。

電子ビームウェハ計測装置は、半導体製造分野において露光装置に次いで技術難易度が最も高く、重要性が極めて高い設備の一つだ。

今回納入された28nmクリティカルディメンション電子ビーム計測装置は、無錫市の亘芯悦科技（Wuxi Genxinyue Technology）が独自開発したもので、電子光学システム、電子回路、ソフトウェアなどにおいて完全な自社技術を実現した。これは中国の半導体計測分野における中核技術課題の解決に効果的に対応し、集積回路産業の重要工程における空白を埋め、中国国産チップ向け高級設備の自律制御レベル向上において画期的な意義を持っている。

同日の式典では、亘芯悦科技（Genxinyue Technology）と上海交通大学（Shanghai Jiao Tong University）の自動化知覚学院が共同設立した「電子光学AIプラットフォーム共同研究所」の除幕式も実施した。両者は技術革新、産業応用、科学技術人材育成などの分野で包括的協力を推進し、「理論の突破→製造プロセス検証→量産ライン導入」というの全プロセスを貫通することで、今後の装置開発に新たな原動力を注入する。

式典前には、無錫市の指導者と来席者が亘芯悦科技（Genxinyue Technology）の電子ビーム計測装置生産ラインを視察し、同社の発展経緯、人材チーム、技術ロードマップ、中核設備などについて詳細な説明を受けた。

無錫市は中国で2番目に集積回路産業の生産高が1,000億元（約2兆円）を突破した都市として、近年、「集積回路産業高品質発展36か条」を創新的に策定した。また、総額50億元（約1,000億円）規模の「江蘇省無錫集積回路産業特別基金」を設立し、国家集積回路産業投資基金から100億元（約2,000億円）超の投資を誘致した。国家集積回路設計無錫産業化基地、国家マイクロエレクトロニクスハイテク産業基地、国家集積回路特色プロセス・パッケージテスト創新センターの認定を相次いで取得した。

2024年には無錫市内の主要集積回路企業の生産高は前年比9.3％増の2,512億元（約5.02兆円）を達成した。また、無錫市は中国ユニコーン企業リストの新規選出数で江蘇省内1位となり、全ての企業が集積回路分野だった。2025年1～6月期の主要企業生産高は前年同期比14.2％増の1,315億元（約2.63兆円）となっている。

（為替換算レート：1人民元=20円で計算）

（原文：https://www.icsmart.cn/95320/）