2024年6月14日、中国の半導体装置会社である恵然微電子社（Wellrun Microelectronics）は、初のCD-SEM装置（Critical Dimension Scanning Electron Microscope）を出荷した。同社は半導体検査分野におけるブレークスルーを示し、半導体検査装置の国産化に新たな活力を注入した。
チップ製造には数千の工程を必要とし、その中で、フォトリソグラフィ、エッチング装置、薄膜蒸着、数量検査装置は半導体ウェハー製造の最も重要な装置である。 現在、中国のDUV、EUVフォトリソグラフィと電子ビームの体積検査装置は、半導体のコア装置の分野で、独立した制御の程度は、「高リスク」と「カバーすることが困難」であり、恵然微電子社は、まさにこのようなトレンドの中で誕生し、中国国内外の人材を集め、段階的に成果を上げてきた。
CD-SEM装置は先進的な全自動オンラインウェハー測定装置であり、電子ビーム走査イメージング技術を利用し、ウェハー製造プロセス中の主要なプロセスパラメータを監視し、現像後のフォトレジストの臨界サイズ測定、エッチング後のコンタクトホール径/ビア径及びゲートライン幅の測定に応用され、チップ製造の歩留まりを向上させ、製品品質の安定性を維持するための重要な装置である。 恵然微電子社は、基本となる設計能力を身につけており、電気光学システム、画像処理アルゴリズム、高速ウェハー搬送システムを独自に設計し、集積回路の多層化と複雑化に重要な顕微鏡データを提供している。
恵然微電子社は、「首絞り問題」を克服するためには、全社一丸となる必要があるとしている。顧客、サプライヤー、パートナーと協力し、電子ビームの安定性と分解能、精密な位置決めと制御、画像強調と解析、測定速度の向上など、重要な技術的課題を克服していく。さらに、IC業界により高性能で信頼性の高い選択肢を提供し、業界に貢献するため、製品の開発進展を加速していく。